【潔凈等級(jí)】ISO5(100級(jí)Class100)/ISO4(10級(jí)Class10)
【過濾器級(jí)別/過濾效率】HEPA/ULPA ≥99.995~99.999% @0.3μm
【下降氣流平均流速】0.33±0.025m/s
【流入氣流平均流速】0.53±0.025m/s
【噪聲】≤65dB(A)
【振動(dòng)峰值】≤5μm
【氣密度】300
【重量】300Kg
【照度】900Lx
【接受非標(biāo)定制】